14.9.2008 - Solarthemen 287: Das klimaschädliche Reinigungsgas Stickstofftrifluorid (NF3) kann durch klimafreundliches
Fluor ersetzt werden, sagt der Industriegashersteller Linde. NF3 wird vorwiegend in der LCD-Bildschirmherstellung zur Reinigung von Hochreinräumen eingesetzt, die Technik findet laut Linde aber auch in der siliziumbasierten Dünnschichtzellenproduktion Verwendung.
?Chemisch gesehen erfordern alle Reinigungsprozesse in Hochreinräumen Fluoratome, die mit den Siliziumrückständen reagieren, so dass die Bedampfungsrückstände [...] zum vollen Artikel bei Solarthemen * Infodienst für regenerative Energien
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